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      1. 立式化学气相沉积炉 先进陶瓷
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        产品详情

        、设备用途:

        化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

        、设备特点:

        1 立式结构,炉门采用丝杠升降或液压升降/手动升降。

        2 双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

        3 控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

        4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

        5 配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

        、主要技术参数:

        No.型号工作区尺寸(?XH)mm高温度  ()真空度   (Pa)

        压升率

         (Pa/h)

        温度均匀性 ()功率   (KW)
        1ZT-60-15300X50015001-1000.67±1060
        2ZT-145-15600X80015001-1000.67±10145
        3ZT-220-15800X100015001-1000.67±15220
        4ZT-270-151000X150015001-1000.67±20275
        5ZT-550-151500X200015001-1000.67±20550

        炉膛尺寸按可你的要求定做

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