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      1. 卧式化学气相沉积炉
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        产品详情

        、设备用途:

        化学气相沉积炉主要用于碳化硅(SIC)及氮化硼(BN)等新材料的制备。

        、设备特点:

        1 卧式结构,双炉门结构,炉门启闭采用气动方式。

        2 双层炉壳结构,内层不锈钢,外层为碳钢,中间通水冷却。石墨碳棒加热体,石墨碳毡保温层保温效果好。

        3 控制方式为PLC加触摸屏方式,有手动及自动控制切换。自动化程度高,操作方便。

        4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌,性能稳定、可靠。

        5 配备出、装料料车,方便操作及出装料,提高工作效率。

        、主要技术参数:

        No.型号

        工作区尺

        (WXHXL)mm

        温度 

        (℃)

        真空度 

        (Pa)

        压升率 

        (Pa/h)

        温度均匀性

         (℃)

         (KW) 

        1HZT-100-15400X400X60015001-1000.67±20100
        2HZT-145-15500X500X75015001-1000.67±20145
        3HZT-145-15600X600X90015001-1000.67±20190
        4HZT-360-15700X700X200015001-1000.67±20360




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